所謂真空熱處理是工件在10-1~10-2Pa真空介質(zhì)中進行加熱到所需要的溫度，然后在不同介質(zhì)中以不同冷速進行冷卻的熱處理方法。 真空熱處理被當代熱處理界稱為高效、節(jié)能和無污染的清潔熱處理。真空熱處理的零件具有無氧化，無脫碳、脫氣、脫脂，表面質(zhì)量好，變形小，綜合力學性能高，可靠性好(重復性好，壽命穩(wěn)定)等一系列優(yōu)點。因此，真空熱處理受到國內(nèi)外廣泛的重視和普遍的應用。并把真空熱處理普及程度作為衡量一個國家熱處理技術(shù)水平的重要標志。真空熱處理技術(shù)是近四十年以來熱處理工藝發(fā)展的熱點，也是當今先進制造技術(shù)的重要領域。

　　一、真空熱處理工藝原理和真空熱處理和加熱特點

　　工藝原理

　　(1)金屬在真空狀態(tài)下的相變特點。 在與大氣壓只差0.1MPa范圍內(nèi)的真空下，固態(tài)相變熱力學、動力學不產(chǎn)生什么變化。在制訂真空熱處理工藝規(guī)程時，完全可以依據(jù)在常壓下固態(tài)相變的原理。完全可以參考常壓下各種類型組織轉(zhuǎn)變的數(shù)據(jù)。

　　(2)真空脫氣作用，提高金屬材料的物理性能和力學性能。

　　(3)真空脫脂作用。

　　(4)金屬的蒸發(fā)：在真空狀態(tài)下加熱，工件表面元素會發(fā)生蒸發(fā)現(xiàn)象。

　　(5)表面凈化作用，實現(xiàn)少無氧化和少無脫碳加熱。

　　(6)金屬實現(xiàn)無氧化加熱所需的真空度。